高純氣體中央供氣系統(tǒng)是專為高精度分析測試設備所用高純工作氣體的傳輸而設計，系統(tǒng)需要為分析設備提供壓力、流量穩(wěn)定且經過長距離傳輸后純度不變的高純氣體以滿足各種高精度分析設備的使用要求。系統(tǒng)同時還應該滿足安全性的要求，并方便客戶的日常使用及管理。

一、氣瓶間布局

1．由于存放的氣體由于有可燃性氣體和助燃氣體，按國家規(guī)定必須分庫存放。分別放入不同的氣瓶間內。

2．氣瓶間內設立一次調壓面板，其中二托一面板帶吹掃銅鍍鉻面板4套。

3．壓力調節(jié)器入口前需加裝燒結金屬過濾器以防止顆粒等雜質污染系統(tǒng)。

4．所有面板均配備吹掃閥，可實現(xiàn)對面板的清洗置換。

5．壓力調節(jié)器及相關管件均需牢固的固定在壓力調節(jié)面板上，面板應設計的緊湊而合理，以盡量減少系統(tǒng)中的死體積。

6．壓力調節(jié)面板應采用全不銹鋼材料制成，并且牢固的固定在可靠的位置上，確保其安全性。

7．氣瓶間內存放的氣瓶采用帶防倒鏈的氣瓶支架固定，氣瓶支架堅固耐用、美觀大方。氣瓶支架采用鋁合金制作而成。

8．氣瓶間內的氣體鋼瓶與壓力調節(jié)器之間采用SS316L高壓金屬軟管連接無滲透。高壓軟管為柔性軟管，以保證連接的方便性。并自導防護鋼纜，預防極端情況下，鋼瓶閥損壞等現(xiàn)象帶來的高壓“抽鞭”事故。壓力調節(jié)器與管道的連接方式為雙環(huán)卡套。

9．高壓軟管上的鋼瓶接頭必需與鋼瓶角閥的規(guī)格相匹配，以確保連接的可靠性。

10．排空氣路應分類收集、固定牢固并排放至室外安全地點。

二、終端布局

1．系統(tǒng)設置為二次減壓系統(tǒng)。終端采用壁掛式設計。上設有壓力調節(jié)器、輸出壓力指示計、緊急切斷閥，同一氣路的呈上下對應排布，方便操作。面板為不銹鋼產品，具體位置參見圖紙，具體配置情況如下：■壁掛式終端標準型26套注：該終端可以實現(xiàn)在室內對設備的壓力調節(jié)、輸出壓力的監(jiān)控及氣路開關控制，省去了每日往返于氣瓶間和實驗間的奔波，提高了辦事效率。

2．控制終端上的氣體出口尺寸要與分析儀的氣體入口尺寸相對應。氣體出口接頭還應方便安裝。

三、氣路的布線

1．氣瓶間內壓力調節(jié)面板與實驗室內的氣路終端之間選用SS316LBA管進行連接，管道內表面光潔度為Ra<0.4umBA級管道。

2．4N氮氣主管線采用OD3/8”（6.35mm）的管道，0.5Mpa壓力下流量可達8M3/小時，完全滿足常規(guī)用氣需求，支線采用OD1/4”（6.35mm）的管道。用焊接三通分出支路來對設備進行供氣。

3．5N氮氣、氦氣、預留氣主管線采用OD1/4”（6.35mm）的管道，支線采用OD1/4”（6.35mm）的管道。用焊接三通分出支路來對設備進行供氣。

4．管道穿過障礙物時須使用管套并采用不可燃材料填充間隙。

5．管道之間采用最先進的美國全自動定位軌道式氬弧焊機進行內外保護氬弧焊（TIG）方式連接，其優(yōu)點是泄漏率可到1X10-9s.c.c./sec.He,且不會再內表面產生氧化層或褶皺等焊接缺陷。

6．管路上的三通全部采用焊接三通來實現(xiàn)連接，可更有效保證氣體的傳輸質量。

7．管道需用固定卡具固定在管道支架上。管道支架為槽鋼結構美觀大方。與墻體和管道固定牢固。且為耐火材料（鋁合金）制成。

8．氣體管路在鋪設過程中要做到橫平豎直，為保證管道走線的直線度和管道間的間距，每間隔一定距離應設置一組管卡?？ň邞刹蝗疾牧现谱鞫桑烙^大方。

9．應盡量減少彎曲以防止被傳輸?shù)臍怏w壓力、流量損失過大。壓力管道拐彎應力集中區(qū)應有安全加固，設計合適的拐彎半徑，彎曲部位不能有皺折及扭曲。彎曲半徑和彎曲質量由專用工具保證。系統(tǒng)布線應盡量減少接縫以降低泄漏的可能性。

10．配管時的每根管道每個管件均要用高壓的5N高純氮氣進行吹掃才能接入系統(tǒng)，整個系統(tǒng)安裝完畢后還要用5N的高純氮進行大流量氣體吹掃，以確保系統(tǒng)的潔凈度即流出的氣體無油脂及明顯的固體顆粒物流出。

11．系統(tǒng)安裝完畢后要用高純氮氣進行高壓部分、低壓部分氣密性實驗，對整個系統(tǒng)進行檢測。

12．壓力調節(jié)面板和氣路控制終端上粘貼氣路編號、氣體種類、濃度等標識。