一、潔凈形式

1、潔凈室按工藝特點(diǎn)、空氣潔凈度等級(jí)和布置要求分為隧道式、開放式和微環(huán)境等；

2、潔凈室按氣流流型分為單向流潔凈室、非單向流潔凈室和混合流潔凈室。

3、電子工業(yè)潔凈廠房宜采用混合流潔凈室。對(duì)空氣潔凈度要求嚴(yán)格時(shí)，宜采用微環(huán)境型式。

二、防火設(shè)計(jì)要求

1、電子潔凈廠房的耐火等級(jí)不應(yīng)低于二級(jí)。

2、電子潔凈廠房潔凈區(qū)各層專用消防口的設(shè)計(jì)，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073 的有關(guān)規(guī)定。

三、環(huán)境參數(shù)控制要求

微粒、對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量有害的雜質(zhì)、溫度、濕度、壓差、噪聲、振動(dòng)、靜電防護(hù)、照度等。

四、潔凈廠房空氣吹淋室的設(shè)計(jì)要求（人員凈化）

1、在潔凈室（區(qū)）的入口處宜設(shè)空氣吹淋室，當(dāng)不設(shè)空氣吹淋室時(shí)，應(yīng)設(shè)氣閘室；

2、吹淋室應(yīng)設(shè)在更換潔凈工作服后的相鄰部位；

3、單人空氣吹淋室，應(yīng)按最大班人數(shù)每 30 人設(shè)—臺(tái)。潔凈室（區(qū)）工作人員超過5 人時(shí)，空氣吹淋室一側(cè)應(yīng)設(shè)單向旁通門；

4、空氣吹淋室的進(jìn)、出 門不得同時(shí)開啟，要采取連鎖控制措施；

5、空氣潔凈度等級(jí)為 5 級(jí)或嚴(yán)于 5 級(jí)的垂直單向流潔凈室（區(qū)），宜設(shè)氣閘室；

6、潔凈工作服更衣室的空氣潔凈度等級(jí)宜低于相鄰潔凈室（區(qū)）的空氣潔凈度等級(jí)。

五、靜壓差設(shè)計(jì)要求

1、不同等級(jí)的潔凈室之間的靜壓差應(yīng)大于等于 5Pa；

2、潔凈室與非潔凈室之間的靜壓差應(yīng)大于 5Pa；

3、潔凈室與室外的靜壓差應(yīng)大于 10Pa。

六、各行業(yè)的潔凈度等級(jí)